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◆性能特点:
实现样品保持不动,探针移动扫描的商业化原子力显微镜。样品尺寸、重量几乎不受限制,特别适合超大的样品检测。
样品台可拓展性强,非常便于进行多仪器联用实现原位检测。
电动控制样品移动台和升降台,可任意编程多点位置实现快速自动化检测。
龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式载物台。
马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品。
高倍辅助光学显微定位,实时观测与定位探针以及样品扫描区域。集成扫描器非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%。
◆测量范围及应用:
测量范围:二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
应用:纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。
◆ 应用·九游会J9·案例 Application Case
序号
名称
技术参数
01
工作模式
接触模式、轻敲模式
02
选配模式
摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力
03
力谱曲线
F-Z力曲线、RMS-Z曲线
04
XYZ扫描方式
探针驱动式扫描,压电陶瓷管扫描器
05
XY扫描范围
100×100um
06
Z扫描范围
10um
07
扫描分辨率
横向0.2nm,纵向0.05nm
08
XY样品台
步进电机驱动控制,移动精度1um
09
XY移动行程
100×100mm(可选200×200mm,300×300mm)
10
样品载物台
直径100mm(可选200mm,300mm)
11
样品重量
≤15Kg
12
Z升降台
步进电机驱动控制,*小步长10nm
13
Z升降行程
15mm(可选20mm,25mm)
14
光学定位
10X光学物镜
15
摄像头
500万像素数字CMOS
16
扫描速率
0.6Hz~30Hz
17
扫描角度
0~360°
18
运行环境
Windows XP/7/8/10操作系统
19
通信接口
USB2.0/3.0
20
仪器结构
龙门架式扫描头,大理石底座
21
减震方式
气浮式减震台+金属屏蔽隔音箱(可选主动式减震台)